氦质谱检漏仪 无 ZXL-840

氦质谱检漏仪 无 ZXL-840

设备名称、数量及型号：

设备名称：氦质谱检漏仪；设备数量：1台；设备型号：ZXL-840

设备功能：

氦质谱检漏仪：性能稳定可靠。灵敏度高，操作方便，能够实现自动调零、自动校准和自动量程切换，能够满足最小检漏率的要求。

设备技术规格

设备主要技术参数

设备配置表

主要用途及特性

主要用途

针对气密性要求精度高的一些机械配件、压力容器、密封壳体、汽轮机组、化工管道等，检测设备焊接处、禁锢连接处气密性是否良好，能否达到设计要求，并准确、及时地找到泄漏点。

特性

l 设备漏率显示系统的误差不超过±5%；

l 气路设计，较低的颗粒物干扰；

l 能够自保护，防止本体被污染；

l 具有移动式推车，工作噪音、移动噪音较低；

l 具有报警功能。

能实现的技术功能

l 实时监控与检漏曲线自动记录功能；

l 音频报警功能；

l 防氦污染功能；

l 质谱室自动保护功能，防止大气进入；

l 内置漏孔自动校准功能；

l 数字、条形、趋势图显示方式读取漏率值功能；

l 氦本地一键式自动清零功能；

l 液晶数字显示功能；

l 多种检漏模式：粗检、精检、高灵敏度、吸入模式；

组成部分

整个设备由以下七部分组成：1）离子源；2）分析器；3）收集器；4）质谱室；5）抽气系统；6）电气系统；7）噪声振动。

离子源

在质谱室内，灯丝通电，把气体电离成正离子，在电场的作用下，离子聚焦成束形成离子束；乙方设备的离子源应为振荡型离子源，直线型铱金灯丝，非轮旋型灯丝（容易烧断）外涂氧化钇，要求离子源寿命长且灵敏度高。

分析器

由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器。在均匀磁场的作用下，不同质荷比的离子束的偏转半径不同，调节加速电压，使氦离子束恰好通过出口缝隙，进而分离出氦离子，以达到收集器。

收集器

由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；氦离子达到收集器后，形成离子流并由放大器放大，使其由输出表和声音指示反应出来。且能有效降低检漏仪本身噪音，提高检漏仪灵敏度。

质谱室

由离子源、分析器、收集器组成质谱室。离子源发射的离子流在分析器中均匀磁场的作用下，不同质荷比的离子按照不同的偏转半径发生偏转，通过调节加速电压使氦离子束通过出口缝隙到达收集器，形成离子流并由放大器放大，使其由输出表和声音指示反应出来。

抽气系统

机械泵（粗抽，抽到真空1500Pa左右，分子泵启动），乙方设备提供的机械泵为莱宝D16C，性能可靠；

分子泵（抽绝对真空环境，给质谱室提供真空环境），乙方设备的分子泵应为检漏仪专用涡轮分子泵，为德国普发三口高真空分子泵，且要求分子泵多口、检测量程宽,；

电磁阀（可配合不同的电路来实现预期的控制，而控制的精度和灵活性都能够保证），乙方设备提供的电磁阀要求性能可靠，耐腐蚀，耐水蒸汽和耐过热水性能；外漏堵绝，内漏易控，使用安全。

压力指示仪表，压力指示仪表的误差应符合制造标准，并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动（或手动）切换到检漏的功能。

电气系统

l 220V开关电源；

l 主控板（控制板）；

l 质谱室灯丝保护电路。

噪声振动

设备运行时，整机噪音低于65dB，无明显振动。