货号

型号

主机规格

X1 轴测量范围

垂直移动

花岗岩基座尺寸

525-481DC-1

SV-C3200S4

100 mm

300 mm

600×450 mm

分析软件

FORMTRACEPAK V5.4/E SVC/CS

测量范围

X1 轴

100 mm

检出器

800 μm、80 μm、8 μm

类型

X1 轴

反射型线性编码器

检出器

差动电感式

分辨力

X1 轴

0.05 μm

检出器

0.01μm（800 μm）

0.001 μm（80 μm）

0.0001 μm（8 μm）

直线度

（0.05＋L/1000）μm  L为驱动长度（mm）

（以X1轴为水平方向上）

测针上／下运作

弧形移动

测针方向

向下

测力

0.75 mN

测针针尖形状

60°、R2 μm

测量范围

X1 轴

100 mm

Z1轴（检出器）

60 mm

类型

X1 轴

反射型线性编码器

Z1轴

圆弧光栅尺

分辨力

X1 轴

0.05 μm

Z1轴

0.04 μm

直线度

0.8μm/100 mm　（以X1轴为水平方向上）

指示精度

X1 轴

±（0.8＋0.01L）μm  L为驱动长度（mm）

（20℃）

Z1轴

±（1.6＋｜2H｜/100）μm

H：基于水平位置的测量高度（mm）

测针上／下运作

弧形移动

测量方向

向前/向后

测针方向

向上/ 向下

测力

30 mN

跟踪角度

向上

77°（依表面粗糙度而定）

向下

83°（依表面粗糙度而定）

*使用配置的标准测头

测针针尖

*半径

25 μm

材料

硬质合金

垂直移动

Z2 轴(立柱)

300 mm

长度基准

Z2 轴

ABSOLUTE 线性编码器

分辨力

Z2 轴

1 μm

X1 轴倾角范围

±45°

驱动速度

X1 轴

0～80 mm/s外加手动

Z2 轴

0～30 mm/s外加手动

测量速度

0.02～5 mm/s

基座尺寸

600×450 mm

基座材料

花岗岩

尺寸

主机

996×575×966 mm

控制器

221×344×490 mm

遥控箱

248×102×62.2 mm

重量

主机

140 kg

控制器

14 kg

遥控箱

0.9 kg

使用温度范围

15～25 ℃

使用湿度范围

20～80 %RT　　但是不能结露

保存温度范围

-10～50 ℃

保存湿度范围

5～90 %RT　　但是不能结露

电源

100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz

消耗功率

400W