型号

SJ-500

标准型

（选件）

测量范围

Z1轴（检出器）

800μm，80μm，8μm

X轴

50mm

直线度

0.2μm/50mm*1

分辨力

X轴

0.05μm

Z1轴（检出器）

0.01μm（800μm），0.001μm（80μm），0.0001μm（8μm）

Z2轴（立柱）

——

——

驱动速度

X轴

0-20mm/s或手动操作

Z2轴（立柱）

——

测量速度

0.02-5mm/s

上下移动量

连接装置：30mm

评价轮廓

原始轮廓，粗糙度轮廓，波形轮廓，DF轮廓，粗糙度motif轮廓，波形，motif轮廓

评价参数

Ra,Rc,Ry,Rz,Rq,Rt,Rmax,Rp,Rv,R3z,Sm,S,Pc,m(rc),&c,mr,tp,Htp,Lo,Lr,Ppi,HSC,△a,△q,Ku,Sk,Rpk,Rvk,Rk,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo, λa,λq,R,AR,Rx,W,AW,,Wte　

轮廓分析

阶差（平均，zui大，zui小），圆，角度，面积，坐标值边缘，倾斜角

分析图表

负荷曲线（BAC）,振幅分布曲线（ADC），功率谱图

曲线补充

抛物线补偿，双曲线补偿，椭圆补偿，圆补偿，锥面补偿，倾斜补偿（曲面/任意）

滤波

2CR75，PC75，高斯鲁棒样条

截止波长

Λs

0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm，无滤波

Λc

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm无滤波

Λf

0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm无滤波

取样长度

0.025,0.8,0.25,0.8,2.5,8,25,80*2mm无滤波

LCD规格

7.5″带背光的TFT液晶显示